[实用新型]一种具有锯齿状内侧边缘电极的薄膜体声波谐振器有效
| 申请号： | 201320201985.5 | 申请日： | 2013-04-19 |
| 公开（公告）号： | CN203243292U | 公开（公告）日： | 2013-10-16 |
| 发明（设计）人： | 陈达;王璟璟;孙学军;金荧荧;干耀国 | 申请（专利权）人： | 山东科技大学 |
| 主分类号： | H03H9/17 | 分类号： | H03H9/17 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 266590 山东省青*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种具有锯齿状内侧边缘电极的薄膜体声波谐振器，包括基片、声反射层、压电层以及设置于压电层表面的至少一对电极对。电极对中两个电极的内侧边缘为至少包含两个尖齿的锯齿形状，外侧边缘为相互平行的直线，两个电极的长度相同。两个电极激发出的电场非对称分布，抑制纵波模式谐振和声表面波、次表面波等寄生杂波的产生，提高剪切波模式谐振的品质因数，从而在液体生化传感中具有更高的灵敏度和分辨率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 具有 锯齿状 内侧 边缘 电极 薄膜 声波 谐振器 | ||
【主权项】：
一种具有锯齿状内侧边缘电极的薄膜体声波谐振器，包括基片、声反射层、压电层以及设置于压电层表面的至少一对电极对，其特征在于，电极对中两个电极的内侧边缘为至少包含两个尖齿的锯齿形状，外侧边缘为相互平行的直线，两个电极的长度相同。
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