[实用新型]一种晶体生长冷却装置有效
| 申请号: | 201320196216.0 | 申请日: | 2013-04-17 |
| 公开(公告)号: | CN203200370U | 公开(公告)日: | 2013-09-18 |
| 发明(设计)人: | 徐永亮;姜树炎 | 申请(专利权)人: | 浙江昀丰新能源科技有限公司 |
| 主分类号: | C30B11/00 | 分类号: | C30B11/00 |
| 代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 王宝筠 |
| 地址: | 321037 浙江省金*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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| 摘要: | 本实用新型提供了一种晶体生长冷却装置,该装置的调压通路包括并联的第一支路和第二支路,第一支路包括依次连接的第一气瓶、第一气体减压阀、第一手动换向阀及第一单向阀,第二支路包括依次连接的第二气瓶、第二气体减压阀、第二手动换向阀及第二单向阀,第一单向阀与第二单向阀汇合于第一节点,装置的高压充气通路通过第一节点与调压通路连接。该装置通过在调压通路设置并联的两个支路,每个支路均具有一个气瓶,当第一气瓶中的气体不足时,能够打开第二支路,使第二支路的第二气瓶向装置供气,然后关断第一支路,更换第一气瓶,从而实现了在持续向装置供气的前提下,更换气瓶的功能,保证了长晶适宜的温场梯度,提高了晶体质量。 | ||
| 搜索关键词: | 一种 晶体生长 冷却 装置 | ||
【主权项】:
一种晶体生长冷却装置,其特征在于,所述晶体生长冷却装置的调压通路包括并联的第一支路和第二支路;所述第一支路包括依次连接的第一气瓶、第一气体减压阀、第一手动换向阀及第一单向阀;所述第二支路包括依次连接的第二气瓶、第二气体减压阀、第二手动换向阀及第二单向阀,所述第一单向阀与所述第二单向阀汇合于第一节点,所述晶体生长冷却装置的高压充气通路通过所述第一节点与所述调压通路连接。
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