[实用新型]一种AZO平面靶有效
| 申请号： | 201320117158.8 | 申请日： | 2013-03-15 |
| 公开（公告）号： | CN203238323U | 公开（公告）日： | 2013-10-16 |
| 发明（设计）人： | 程会伦;赵小军;虞辉;覃雪峰 | 申请（专利权）人： | 漳州市合纵镀膜材料科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/06 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 363800 福建*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本实用新型一种AZO平面靶，属于光电材料，其技术方案是以氧化锌和氧化铝为原料，形状为长方体，所述长方体的长度为100～330mm、宽度为100～330mm、高度为5～20mm。该AZO平面靶的致密度高，达到99%，电阻率低于1*10-4Ω.cm，结构稳定，成分分散均匀，有利于提高薄膜性能稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 azo 平面 | ||
【主权项】：
一种AZO平面靶，其特征在于：所述AZO平面靶的形状为长方体，所述长方体的长度为100～330mm、宽度为100～330mm、高度为5～20mm。
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