[实用新型]一种多晶硅尾气中氯硅烷循环利用系统有效
| 申请号： | 201320104292.4 | 申请日： | 2013-03-07 |
| 公开（公告）号： | CN203220842U | 公开（公告）日： | 2013-10-02 |
| 发明（设计）人： | 樊禄祺;王启海;陶拥军;汤建波;陈立志 | 申请（专利权）人： | 江西景德半导体新材料有限公司 |
| 主分类号： | B01D53/18 | 分类号： | B01D53/18;C01B7/07 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 333000 江*** | 国省代码： | 江西;36 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种多晶硅尾气中氯硅烷循环利用系统，包括CDI冷凝系统换热器（1）、氯硅烷液体缓冲罐（2）、泵（3）、氯化氢和氢气气体压缩机（4）、吸收塔（5）、换热器（6）、解析塔（7），本系统将解析塔（7）输出的高温氯硅烷液体和氯硅烷液体缓冲罐（2）输出的低温氯硅烷液体利用换热器（6）进行热交换，既降低了生产成本、简化了生产工艺，又达到了节能降耗的目的，因此该系统具有广阔的市场前景。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 多晶 尾气 硅烷 循环 利用 系统 | ||
【主权项】：
一种多晶硅尾气中氯硅烷循环利用系统，包括CDI冷凝系统换热器（1）、氯硅烷液体缓冲罐（2）、泵（3）、氯化氢和氢气气体压缩机（4）、吸收塔（5）、换热器（6）、解析塔（7），所述CDI冷凝系统换热器（1）连接氯硅烷液体缓冲罐（2）和氯化氢和氢气气体压缩机（4），所述氯化氢和氢气气体压缩机（4）与吸收塔（5）相连，所述氯硅烷液体缓冲罐（2）与泵（3）相连，所述吸收塔（5）通过低温氯硅烷液体输送管一（8）与换热器（6）相连，所述换热器（6）通过高温氯硅烷液体输送管一（9）和解析塔（7）相连，所述解析塔（7）通过高温氯硅烷液体输送管二（10）与换热器（6）相连，所述换热器（6）通过低温氯硅烷液体输送管二（11）与吸收塔（5）相连，其特征在于：所述泵（3）通过低温氯硅烷液体输送管三（12）与换热器（6）相连。
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