[实用新型]一种靶材底柱与底柱接头有效
| 申请号： | 201320090934.X | 申请日： | 2013-02-28 |
| 公开（公告）号： | CN203065567U | 公开（公告）日： | 2013-07-17 |
| 发明（设计）人： | 郎文昌 | 申请（专利权）人： | 温州职业技术学院 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 沈阳优普达知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 21234 | 代理人： | 张志伟 |
| 地址： | 325035 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型涉及表面防护涂层制备领域，具体地说是一种用于离子镀枪的靶材底柱与底柱接头。靶材底柱的外侧设置靶材底柱绝缘套，靶材底柱的内侧设置永磁体或导磁环和冷却水进水管道，永磁体或导磁环设置于冷却水进水管道的外侧；靶材底柱的一端与冷却水通道底座连接，冷却水进水管道伸至冷却水通道底座中，与冷却水通道底座的进水口相通，冷却水通道底座与靶材底柱之间的通道与出水口相通；靶材底柱的另一端与靶材底柱连接管连接。本实用新型结构简易紧凑有效，可自由设置冷却水套的长度，自由调节靶材在真空室内的位置，操作简便、靶材更换容易、位置可调性好、便于整机设计及满足工业生产对真空室内等离子体分布的各种需求。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 靶材底柱 接头 | ||
【主权项】：
一种靶材底柱与底柱接头，其特征在于，包括：冷却水通道底座、靶材底柱、靶材底柱绝缘套、冷却水进水管道、永磁体或导磁环、出水口、进水口，具体结构如下：靶材底柱的外侧设置靶材底柱绝缘套，靶材底柱的内侧设置永磁体或导磁环和冷却水进水管道，永磁体或导磁环设置于冷却水进水管道的外侧；靶材底柱的一端与冷却水通道底座连接，冷却水进水管道伸至冷却水通道底座中，与冷却水通道底座的进水口相通，冷却水通道底座与靶材底柱之间的通道与出水口相通；靶材底柱的另一端与靶材底柱连接管的一端连接。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于温州职业技术学院，未经温州职业技术学院许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201320090934.X/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
