[实用新型]一种分体式加热装置有效
| 申请号: | 201320079912.3 | 申请日: | 2013-02-21 |
| 公开(公告)号: | CN203144551U | 公开(公告)日: | 2013-08-21 |
| 发明(设计)人: | 曾向鑫;何育坤;肖益波;李忠平;朱红娣 | 申请(专利权)人: | 无锡开日能源科技股份有限公司 |
| 主分类号: | C30B11/00 | 分类号: | C30B11/00;C30B29/06;F27B14/06;F27B14/14 |
| 代理公司: | 无锡盛阳专利商标事务所(普通合伙) 32227 | 代理人: | 杜丹盛 |
| 地址: | 214000 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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| 摘要: | 本实用新型提供了一种分体式加热装置,其可对硅锭的不同区域进行功率分配,提高加热功率利用的有效率,减少了无功消耗。其包括炉体、坩埚、隔热笼、侧面加热器,所述坩埚、侧面加热器均位于所述隔热笼所形成的腔体内,所述侧面加热器分别位于所述坩埚的四周,其特征在于:所述隔热笼底部设置有隔热底板,所述隔热底板上设置有底部加热器,所述坩埚支承于所述底部加热器,所述侧面加热器上设置有侧部温控热偶,所述底部加热器上设置有底部温控热偶,所述侧面加热器的铜电极分别连接侧部加热变压器,所述底部加热器的铜电极分别连接底部加热变压器,所述侧部温控热偶、底部温控热偶的输出端分别连接PLC控制器的输入端。 | ||
| 搜索关键词: | 一种 体式 加热 装置 | ||
【主权项】:
一种分体式加热装置,其包括炉体、坩埚、隔热笼、侧面加热器,所述坩埚、侧面加热器均位于所述隔热笼所形成的腔体内,所述侧面加热器分别位于所述坩埚的四周,其特征在于:所述隔热笼底部设置有隔热底板,所述隔热底板上设置有底部加热器,所述坩埚支承于所述底部加热器,所述侧面加热器上设置有侧部温控热偶,所述底部加热器上设置有底部温控热偶,所述侧面加热器的铜电极分别连接侧部加热变压器,所述底部加热器的铜电极分别连接底部加热变压器,所述侧部温控热偶、底部温控热偶的输出端分别连接PLC控制器的输入端,所述PLC控制器的输出端分别连接侧部交流三相智能可控硅功率控制器、底部交流三相智能可控硅功率控制器,所述侧部交流三相智能可控硅功率控制器的输出端连接所述侧部加热变压器的输入端,所述底部交流三相智能可控硅功率控制器的输出端连接所述底部加热变压器的输入端。
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