[实用新型]一种湿法刻蚀并联供液系统

摘要

本实用新型提供了一种湿法刻蚀并联供液系统，包括药品柜和通过第一管路与药品柜相连的第一湿法刻蚀设备；还包括第二湿法刻蚀设备，其包括设有第一阀门的内部管路；分别用于控制第一阀门开闭以及控制药品柜的第二控制器的信号输入线路通断的第一控制器，第一控制器与信号输入线路相联；连接在内部管路与药品柜之间的第二管路，第二管路与第一管路并联。上述湿法刻蚀并联供液系统的两个湿法刻蚀设备由同一个药品柜分别通过两条管路进行供液；新的湿法刻蚀设备与旧的药品柜能配套使用，节省了需要采购一套新的药品柜以及附属设备的采购成本，而且还省去了对新购置的药品柜在使用中进行日常维护和备件更换等，减少了采购成本以及设备运行成本。

主权项

一种湿法刻蚀并联供液系统，包括药品柜（1）和通过第一管路（4）与所述药品柜（1）相连的第一湿法刻蚀设备（2）；其特征在于，还包括第二湿法刻蚀设备（3），所述第二湿法刻蚀设备（3）包括：内部管路，所述内部管路上设有第一阀门；分别用于控制所述第一阀门开闭以及控制所述药品柜（1）的第二控制器的信号输入线路（7）通断的第一控制器，所述第一控制器与所述信号输入线路（7）相联；连接在所述内部管路与所述药品柜（1）之间的第二管路（5），所述第二管路（5）与所述第一管路（4）并联。