[发明专利]一种工艺潜在缺陷的检测参数及缺陷判据确定方法

摘要

本发明涉及一种工艺潜在缺陷的检测参数及缺陷判据确定方法，步骤如下步骤1产品制造过程工艺分析；步骤2工艺潜在缺陷及原因分析；步骤3工艺潜在缺陷表征参数的确定；步骤4工艺潜在缺陷影响关系模型的建立；步骤5工艺检测参数及缺陷判据的确定。本方法基于工艺潜在缺陷影响关系模型，确定产品制造过程中工艺潜在缺陷的检测参数及缺陷判据，避免制造过程参数检测的盲目性。

主权项

一种工艺潜在缺陷的检测参数及缺陷判据确定方法，其特征在于：步骤如下：步骤1：产品制造过程工艺分析：简化工艺过程，明确工艺步骤；步骤2：工艺潜在缺陷及原因分析：分析工艺潜在缺陷，从工艺过程的物理及化学理论、PFMECA方法和工艺试验三方面，进行工艺潜在缺陷原因分析；步骤3：工艺潜在缺陷表征参数的确定：依据步骤2结合工艺潜在缺陷，确定工艺潜在缺陷表征参数；步骤4：工艺潜在缺陷影响关系模型的建立：工艺过程的理论推导或数据驱动方法建立工艺潜在缺陷影响关系模型；步骤5：工艺检测参数及缺陷判据的确定：依据工艺潜在缺陷影响关系模型，进行灵敏度分析，确定工艺潜在缺陷检测参数，针对确定的工艺潜在缺陷检测参数，依据工艺潜在缺陷影响关系模型确定相应检测参数的缺陷判据范围。