[发明专利]物镜支撑装置及光刻机在审
| 申请号： | 201310752319.5 | 申请日： | 2013-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN104749904A | 公开（公告）日： | 2015-07-01 |
| 发明（设计）人： | 王茜 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G02B7/02 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙)31237 | 代理人： | 屈蘅,李时云 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明公开了一种物镜支撑装置及光刻机，该物镜支撑装置安装在光刻机上，包括主支撑装置和辅助支撑装置；其中，所述主支撑装置的一端与物镜法兰相连，所述主支撑装置的另一端安装在主基板上；所述辅助支撑装置的一端与物镜主体连接，所述辅助支撑装置的另一端安装在内部框架上。本发明的物镜支撑装置，通过在物镜法兰处及物镜主体处分别设置主支撑装置和辅助支撑装置，从而消除以物镜法兰安装面为中心整体绕水平向（X向或Y向）转动模态振型，提高各阶振型的模态频率值，缩减物镜顶端、中心、底端间的位移响应差值，提高曝光精度。 | ||
| 搜索关键词： | 物镜 支撑 装置 光刻 | ||
【主权项】：
一种物镜支撑装置，包括：主支撑装置和辅助支撑装置；其中，所述主支撑装置的一端与物镜法兰相连，所述主支撑装置的另一端安装在主基板上；所述辅助支撑装置的一端与物镜主体连接，所述辅助支撑装置的另一端安装在内部框架上。
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