[发明专利]一种顶针机构的定位装置及反应腔室

摘要

本发明提供一种顶针机构的定位装置及反应腔室，定位装置包括顶针机构和安装盘，在安装盘上设置有通孔，顶针机构包括至少三个顶针和支撑盘，至少三个顶针设置在支撑盘的上表面上，且通孔套置在支撑盘的外周壁外侧，在支撑盘的外周壁上设置有至少两个第一凹槽或第一凸部，在通孔的内周壁上的预设位置处设置有与第一凹槽或第一凸部一一对应的第二凸部或第二凹槽；借助每个第二凸部位于与之对应的第一凹槽内以及每个第一凸部位于与之对应的第二凹槽内，以实现对至少三个顶针的位置进行定位。本发明提供定位装置，不仅可以降低投入成本和提高定位准确性，而且可以提高定位效率。

主权项

一种顶针机构的定位装置，包括顶针机构和安装盘，在所述安装盘上设置有通孔，所述顶针机构包括至少三个顶针和支撑盘，所述至少三个顶针设置在所述支撑盘的上表面上，且所述通孔套置在所述支撑盘的外周壁外侧，其特征在于，在所述支撑盘的外周壁上设置有至少两个第一凹槽或第一凸部，并且，在所述通孔的内周壁上的预设位置处设置有与所述第一凹槽或所述第一凸部一一对应的第二凸部或第二凹槽；借助每个所述第二凸部位于与之对应的第一凹槽内以及每个所述第一凸部位于与之对应的所述第二凹槽内，以实现对所述至少三个顶针的位置进行定位。