[发明专利]一种静电卡盘以及腔室有效
| 申请号： | 201310750732.8 | 申请日： | 2013-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN104752301B | 公开（公告）日： | 2018-05-25 |
| 发明（设计）人： | 聂淼 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/683 | 分类号： | H01L21/683 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 彭瑞欣;张天舒 |
| 地址： | 100176 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明提供一种静电卡盘，所述静电卡盘包括卡盘座，所述卡盘座上方设置有加热器和绝缘层，所述绝缘层设置在所述加热器上方，且所述绝缘层内设置有用于产生静电引力的电极，所述静电卡盘还包括预制的隔热层，所述隔热层设置在所述卡盘座和所述加热器之间。相应地，本发明还提供一种腔室。本发明有效克服了现有技术中的隔热粘合层的平整度难以保证且容易出现真空泄露的问题，同时，能够降低加工复杂度。 | ||
| 搜索关键词： | 静电卡盘 绝缘层 加热器 卡盘座 隔热层 静电引力 真空泄露 电极 复杂度 平整度 预制的 粘合层 种腔室 隔热 腔室 加工 保证 | ||
【主权项】：
1.一种静电卡盘，所述静电卡盘包括卡盘座，所述卡盘座上方设置有加热器和绝缘层，所述绝缘层设置在所述加热器上方，且所述绝缘层内设置有用于产生静电引力的电极，其特征在于，所述静电卡盘还包括预制的隔热层，所述隔热层设置在所述卡盘座和所述加热器之间，所述隔热层包括多层隔热膜，所述隔热膜为聚酰亚胺膜，多层所述聚酰亚胺膜真空热压后形成所述隔热层，通过调整所述隔热膜的数量来调整所述隔热层的厚度，调节隔热效果。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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