[发明专利]一种液晶显示器的玻璃基板的曝光方法有效
| 申请号： | 201310747958.2 | 申请日： | 2013-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN103744214A | 公开（公告）日： | 2014-04-23 |
| 发明（设计）人： | 付延峰 | 申请（专利权）人： | 深圳市华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | G02F1/1333 | 分类号： | G02F1/1333;G03F7/20;G03F9/00;G03F1/42 |
| 代理公司： | 深圳汇智容达专利商标事务所(普通合伙) 44238 | 代理人： | 潘中毅;熊贤卿 |
| 地址： | 518132 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明实施例公开了一种液晶显示器玻璃基板的曝光方法，包括：提供至少两个光掩膜板，每一光掩膜板包括有效区域及非有效区域，在所述有效区域的周围设置有多个对位精度测量检查标记；将每一光掩膜板分别在单独的基准基板的相应位置上进行曝光，并对多个对位精度测量检查标记进行测量，根据测量结果确定是否需要对所述曝光参数进行补正，获得每一光掩膜板准确的曝光参数；将每一光掩膜板的准确的曝光参数进行合并，并将所述至少两个光掩膜板利用后并后的曝光参数依次在同一基板的对应位置上进行曝光，获得曝光后的图案。根据本发明的实施例，可以提高TFT阵列基板与彩色滤光片基板的对准的精度，从而提高液晶显示器面板的产品良率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 液晶显示器 玻璃 曝光 方法 | ||
【主权项】：
一种液晶显示器玻璃基板的曝光方法，其特征在于，包括：提供至少两个光掩膜板，所述每一光掩膜板包括有效区域及非有效区域，所述有效区域一侧包括有对应于玻璃基板拼接曝光区域的重叠区域，在所述有效区域的周围设置有多个对位精度测量检查标记；将每一光掩膜板分别在单独的基准基板的相应位置上进行曝光，对所述光掩膜板上的多个对位精度测量检查标记进行测量，根据测量结果确定是否需要对所述曝光参数进行补正，获得每一光掩膜板准确的曝光参数以及位置信息；将每一光掩膜板的准确的曝光参数进行合并，并将所述至少两个光掩膜板利用后并后的曝光参数依次在同一基板的根据所述位置信息在对应位置上进行曝光，获得曝光后的图案，其中，在每次曝光时，至少采用一挡板遮挡住所述光掩膜板重叠区域一侧的对位精度测量检查标记。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于深圳市华星光电技术有限公司，未经深圳市华星光电技术有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201310747958.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：触控显示装置
- 下一篇：一种激光二极管线阵/面阵的光束整形系统
