[发明专利]一种高精度靶材测量系统及方法

摘要

一种高精度靶材测量系统及方法，包括：检测平台、光学检测单元、数据收集处理单元和控制单元，所述检测平台中间设置有一中空腔，所述中空腔上设置有可拆卸的活动板，所述活动板可将所述中空腔完全覆盖，所述中空腔内部设置至少一组限位组件，所述限位组件固定靶材并可带动所述靶材旋转，所述限位组件连接驱转装置并由其驱动；所述光学检测单元包括镜头和光栅投影装置，由于检测平台和光学检测单元都是活动的，通过控制其运动的方向和距离，可以实现对不同规格和形状靶材的任意位置的高精度三维检测，而且所述限位组件可带动靶材旋转，使检测过程中不需要翻转靶材，提高了检测效率。

主权项

一种高精度靶材测量系统，包括：检测平台，用于放置靶材；光学检测单元，设置在所述检测平台上方，可在三维范围内运动，用于采集所述检测平台上放置的靶材图像;数据收集处理单元，与所述光学检测单元、检测平台分别连接，采集样品检测参数，并对其进行相应的计算、处理和发送；控制单元，与光学检测单元、检测平台分别和数据收集处理单元分别连接，接收所述数据收集处理单元处理后的信息并对其他单元进行控制；其特征在于：所述检测平台中间设置有一中空腔，所述中空腔上设置有可拆卸的活动板，所述活动板可将所述中空腔完全覆盖，所述中空腔内部设置至少一组限位组件，所述限位组件固定靶材并可带动所述靶材旋转，所述限位组件连接驱转装置并由其驱动；所述光学检测单元包括镜头和光栅投影装置，所述光栅投影装置对靶材进行投影扫描，所述镜头采集所述光栅投影装置投射的光栅投影信息，并发送给所述数据收集处理单元。