[发明专利]一种角度和空间坐标的测量系统以及测量方法

摘要

本发明涉及一种角度和空间坐标的测量系统，其包括：一支承调节单元，所述支承调节单元包括一转台、一升降台、一平移台以及一隔振平台；一测量单元，所述测量单元包括一自准直仪、一激光测距仪、一工业相机、一第一反射镜以及一第二反射镜，所述自准直仪、激光测距仪、工业相机、第一反射镜以及第二反射镜位于同一竖直面内并且可以一起随所述平移台同时运动，且所述激光测距仪发出的激光经过第一反射镜和第二反射镜反射后可以与自准直仪的光轴同轴；以及一系统控制单元，所述系统控制单元包括一系统控制接口、一监视器以及一工控机。进一步本发明涉及一种采用该测量系统测量待测样品的角度和空间坐标的方法。

主权项

一种角度和空间坐标的测量系统，其包括：一支承调节单元，所述支承调节单元包括一转台、一升降台、一平移台以及一隔振平台，所述隔振平台具有一平面作为支撑面，在该隔振平台的支撑面所在的平面定义一X方向和一Y方向，与该隔振平台的支撑面垂直的方向定义为一Z方向，所述升降台和平移台沿所述X方向间隔设置于该隔振平台的支撑面上，所述转台设置于该升降台上；一测量单元，所述测量单元包括一自准直仪、一激光测距仪、一工业相机、一第一反射镜以及一第二反射镜，所述自准直仪、激光测距仪、工业相机、第一反射镜以及第二反射镜位于同一竖直面内并且可以一起随所述平移台同时运动，且所述激光测距仪发出的激光经过第一反射镜和第二反射镜反射后可以与自准直仪的光轴同轴；以及一系统控制单元，所述系统控制单元包括一系统控制接口、一监视器以及一工控机，所述系统控制接口将自准直仪、激光测距仪、工业相机、转台、升降台以及平移台连接至所述工控机。