[发明专利]用于显微镜装置的自校准的方法

摘要

本发明提供用于显微镜装置的自校准的方法。显微镜装置包括具有可变放大倍数的光学放大系统和检测器器件，在光学放大系统的不同放大倍数值下通过检测器器件可捕获物体图像。先执行校准模式，在光学放大系统的已知参考放大倍数值下用检测器器件捕获物体图像，在图像中确定至少两个特征参考点，在图像中将至少两个特征参考点间的距离确定为参考距离，确定参考距离与参考放大倍数值间的相互关系。后实施测量模式，在光学放大系统的第二放大倍数值下通过检测器器件捕获物体的当前图像，在当前图像中识别至少两个特征参考点，在当前图像中确定该特征参考点间的当前距离，基于参考距离与参考放大倍数值间的相互关系从当前距离确定第二放大倍数值。

主权项

一种用于校准显微镜装置(1)的方法，其中所述显微镜装置(1)包括‑光学放大系统(13)，所述光学放大系统(13)允许可变的放大倍数，和‑检测器器件(12)，‑其中在所述光学放大系统(13)的不同放大倍数值下，通过所述检测器器件(12)可捕获物体(10)的图像，其中，首先，在第一时间点，通过计算机执行校准模式，其中‑在所述光学放大系统(13)的已知参考放大倍数值下，用所述检测器器件(12)捕获所述物体(10)的图像(50)，‑在所述图像(50)中确定至少两个特征参考点(32a、32b)，‑在所述图像中将所述至少两个特征参考点(32a、32b)之间的距离确定为参考距离(34)，‑确定所述参考距离(34)与所述参考放大倍数值之间的相互关系，且随后，在第二时间点，通过计算机实施测量模式，其中‑在所述光学放大系统(13)的第二放大倍数值下，通过所述检测器器件(12)捕获所述物体(10)的当前图像(51)，‑在所述当前图像中识别至少两个特征参考点(52a、52b)，‑在所述当前图像中确定所述特征参考点(52a、52b)之间的当前距离(54)，‑基于所述参考距离(34)与所述参考放大倍数值之间的所述相互关系，从所述当前距离(54)确定所述第二放大倍数值；其中，在所述测量模式中，还确定所述物体(10)在所述显微镜装置(1)中的实际位置是否已被改变或所述放大系统(13)的所述放大倍数值是否已被改变。