[发明专利]可控高速层析相位的显微方法与装置

摘要

本发明公开了一种可控高速层析相位的显微装置，包括沿样品光光路依次布置的二维扫描系统、第一4f系统、样品、第二4f系统；设置在考光光路上的压电陶瓷控制反射镜，用于改变所述样品光光路和参考光光路的光程差；第二偏振分光棱镜，用于将样品光和参考光合束；沿所述偏振分光棱镜出射光路依次布置的偏振片和CCD。本发明还公开了一种可控高速层析相位的显微方法。本发明系统稳定性更高，可控性更强，经济性更好，能够实现复杂的角度扫描；并可将层析相位显微系统的速度提高4倍以上。

主权项

一种可控高速层析相位的显微装置，其特征在于，包括：激光器，及沿激光器光路依次布置的扩束镜、反射镜、二分之一波片和第一偏振分光棱镜；所述第一偏振分光棱镜用于将所述激光器光路分为样品光光路和参考光光路；沿样品光光路依次布置的二维扫描系统、第一4f系统、样品、第二4f系统；所述二维扫描系统由两个一维扫描振镜和两个等焦距透镜组成，所述两个一维振镜的扫描角度相互垂直；设置在参考光光路上的压电陶瓷控制反射镜，用于改变所述样品光光路和参考光光路的光程差；所述压电陶瓷控制反射镜包括反射镜和控制反射镜发生微位移的压电陶瓷；第二偏振分光棱镜，用于将样品光和参考光合束；沿所述第二偏振分光棱镜出射光路依次布置的偏振片和CCD。