[发明专利]一种空心阴极喷枪装置在审
| 申请号： | 201310720009.5 | 申请日： | 2013-12-24 |
| 公开（公告）号： | CN103731969A | 公开（公告）日： | 2014-04-16 |
| 发明（设计）人： | 王红卫;沈文凯 | 申请（专利权）人： | 苏州市奥普斯等离子体科技有限公司 |
| 主分类号： | H05H1/26 | 分类号： | H05H1/26 |
| 代理公司： | 苏州华博知识产权代理有限公司 32232 | 代理人： | 孟宏伟 |
| 地址： | 215011 江苏省苏州市苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种空心阴极喷枪装置，包括外层壳体和内层阴极套管，外层壳体和内层阴极套管之间设有中间绝缘层，内层阴极套管连接高频电源正极，阴极套管围成部分或者整体内部空间空心的空心阴极结构，内层阴极套管上端还开设有通气孔，外层壳体接地。由于阴极套管围成空心阴极结构，空心阴极中的电子束将彼此汇合，形成电子溅射，振荡强度高，使得放电形成的等离子体能量高，并且由于外层壳体形成的外层阳极接地，提高了喷枪的安全系数。另外本装置不需要负压条件，使其在普通的大气环境下也能工作，处理材料效果佳。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 空心 阴极 喷枪 装置 | ||
【主权项】：
一种空心阴极喷枪装置，包括外层壳体和内层阴极套管，所述外层壳体和所述内层阴极套管之间设有中间绝缘层，其特征在于，所述内层阴极套管连接高频电源正极，所述阴极套管围成部分或者整体内部空间空心的空心阴极结构，所述内层阴极套管上端还开设有通气孔，所述通气孔连接通气管道。
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