[发明专利]一种晶圆允收测试结构在审
| 申请号： | 201310703869.8 | 申请日： | 2013-12-19 |
| 公开（公告）号： | CN104733438A | 公开（公告）日： | 2015-06-24 |
| 发明（设计）人： | 钟怡;陈文磊;宋春 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | H01L23/544 | 分类号： | H01L23/544 |
| 代理公司： | 北京德琦知识产权代理有限公司 11018 | 代理人： | 牛峥;王丽琴 |
| 地址： | 201203 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种晶圆允收测试结构，该结构将两套测试图案结合起来，不但能够监控金属互连层失效问题，而且能够监控金属互连层之间的连接孔的失效问题，因此能够更有效、全面地监控金属-氧化物-金属（MOM）器件的失效问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 晶圆允收 测试 结构 | ||
【主权项】：
一种晶圆允收测试结构，位于晶圆切割道内，其特征在于，该结构包括二套具有N层金属互连层的测试图案，N为大于等于1的整数；每套测试图案的每层金属互连层具有两个开口对置的第一梳状图案和第二梳状图案，且两个梳状图案的梳齿相间排列；在顶层金属互连层的第一梳状图案和第二梳状图案的梳柄部各连接有测试垫，分别通过通孔贯穿至第一金属层，用于测试每套测试图案的电容；所述两个梳状图案的梳齿相间排列的方式包括第一排列或者第二排列；所述第一排列，为第一梳状图案的梳齿位于奇数个梳齿的位置，第二梳状图案的梳齿位于偶数个梳齿的位置；所述第二排列，为第一梳状图案的梳齿位于偶数个梳齿的位置，第二梳状图案的梳齿位于奇数个梳齿的位置；第一套测试图案的第一金属互连层具有第一排列，从第二金属互连层开始，每相邻两层金属互连层的梳状图案排列相同，第一排列和第二排列相间设置，且在相同排列的两层相邻金属互连层之间具有多个连接孔；第二套测试图案的第一金属互连层具有第二排列，从第一金属互连层开始，每相邻两层金属互连层的梳状图案排列相同，第一排列和第二排列相间设置，且在相同排列的两层相邻金属互连层之间具有多个连接孔。
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