[发明专利]长晶炉及长晶炉热场的控制方法在审
| 申请号： | 201310702145.1 | 申请日： | 2013-12-19 |
| 公开（公告）号： | CN103741212A | 公开（公告）日： | 2014-04-23 |
| 发明（设计）人： | 钟绍华;王禄堡 | 申请（专利权）人： | 镇江环太硅科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B28/06 | 分类号： | C30B28/06;C30B29/06 |
| 代理公司： | 上海海颂知识产权代理事务所(普通合伙) 31258 | 代理人： | 季萍 |
| 地址： | 212216 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种长晶炉，包括：炉体；位于所述炉体内的加热器，以及位于所述加热器热场内的坩埚，所述加热器包括上加热器和侧边加热器，所述上加热器位于所述坩埚的顶端，所述侧边加热器形成于所述坩埚的四周，所述上加热器的总功率大于所述侧边加热器的总功率。本发明还公开了一种长晶炉热场的控制方法。本发明通过调整上加热器和/或侧边加热器的电阻，以满足上加热器的总功率大于侧边加热器的总功率，最终达到多晶炉铸碇工艺提升所需的相对温差。因此，在熔化及长晶步骤时，上部相对热，侧边相对冷的情况下来降低坩埚本身杂质进入硅液或硅碇的浓度，并且维持整体加热器的加热效率。 | ||
| 搜索关键词： | 长晶炉 长晶炉热场 控制 方法 | ||
【主权项】：
一种长晶炉，其特征在于，包括：炉体；位于所述炉体内的加热器，以及位于所述加热器热场内的坩埚，所述加热器包括上加热器和侧边加热器，所述上加热器位于所述坩埚的顶端，所述侧边加热器形成于所述坩埚的四周，所述上加热器的总功率大于所述侧边加热器的总功率。
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