[发明专利]非相干成像玻璃测厚方法

摘要

一种非相干成像玻璃测厚方法，属于光电检测技术领域。其特征在于采用非相干点光源或线光源作为照明光源，如果采用非相干线光源，则要求线光源的长度方向平行于被测玻璃平板的表面，照明光源发出的光经汇聚透镜后成实像于被测玻璃平板上表面的上方或下表面的下方；成像透镜对被测玻璃平板上下表面反射非相干点光源或线光源的光所成的两个虚像或两个实像进行成像，所成的两个实像光斑处于线阵或面阵成像器件的感光面上，通过计算这两个光斑的距离即可得到被测玻璃平板的厚度。本发明的效果和益处是，避免了散斑的影响，提高测量的稳定性；降低玻璃平板运动时相对测量系统的角度变化造成光斑失踪现象的可能；避免玻璃表面局部瑕疵对测量的影响。

主权项

一种非相干成像玻璃测厚方法，由非相干点光源或线光源，汇聚透镜，成像透镜，面阵或线阵成像器件组成，各部分均放置于被测玻璃平板的上方，其中，非相干点光源或线光源发出的光经汇聚透镜后斜向下射向被测玻璃平板，汇聚透镜的主光轴与被测玻璃平板法线的夹角大于10度小于60度，非相干点光源或线光源的中心在汇聚透镜的主光轴上，如果是非相干线光源，要求线光源的长度方向垂直于入射平面，成像透镜用来接收被测玻璃平板的反射光，成像透镜的主光轴也位于入射平面内，且与汇聚透镜的主光轴相交于被测玻璃平板上下表面之间，成像透镜的主光轴与被测玻璃平板法线的夹角等于汇聚透镜的主光轴与被测玻璃平板法线的夹角，线阵或面阵成像器件位于成像透镜远离被测玻璃平板方向的一倍焦距和二倍焦距之间，其特征在于，采用非相干点光源或线光源作为照明光源，照明光源发出的光经汇聚透镜，在被测玻璃平板上表面的上方或下表面的下方成实像；被测玻璃平板的上下两个表面反射这个实像形成上下虚像或上下实像，成像透镜对上下虚像或上下实像成像，所成双实像光斑位于线阵或面阵成像器件的感光面上。