[发明专利]一种真空镀膜生产线用密合机构在审
| 申请号: | 201310692198.X | 申请日: | 2013-12-16 |
| 公开(公告)号: | CN104711539A | 公开(公告)日: | 2015-06-17 |
| 发明(设计)人: | 黄国兴;孙桂红;祝海生;黄乐;梁红;吴永光 | 申请(专利权)人: | 湘潭宏大真空技术股份有限公司 |
| 主分类号: | C23C14/56 | 分类号: | C23C14/56;E05D3/06 |
| 代理公司: | 上海精晟知识产权代理有限公司 31253 | 代理人: | 冯子玲 |
| 地址: | 411101 湖*** | 国省代码: | 湖南;43 |
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| 摘要: | 本发明公开了一种真空镀膜生产线用密合机构,包括铰链件和紧锁件,所述铰链件连接真空镀膜生产线中各功能腔室的室门与门框,所述室门经铰链件开合,紧锁件安装在门框上。与现有技术相比,本发明中密合机构采用双轴承设计能保证门铰链的灵活转动,使门铰链不易损坏;在配合门紧锁装置一并使用时,双轴的设计能推动门体和门框整体像腔室内部平移,使得门体与门框之间不会产生大范围的间隙,从而门体能更为紧密的与门框贴合,真空腔室的密封效果也更佳,因此,本发明具有广阔的市场前景。 | ||
| 搜索关键词: | 一种 真空镀膜 生产线 用密合 机构 | ||
【主权项】:
一种真空镀膜生产线用密合机构,其特征在于:所述密合机构包括铰链件和紧锁件,所述铰链件连接真空镀膜生产线中各功能腔室的室门与门框,所述室门经铰链件开合,所述紧锁件安装在门框上。
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