[发明专利]一种真空镀膜生产线用密合机构在审

专利信息
申请号: 201310692198.X 申请日: 2013-12-16
公开(公告)号: CN104711539A 公开(公告)日: 2015-06-17
发明(设计)人: 黄国兴;孙桂红;祝海生;黄乐;梁红;吴永光 申请(专利权)人: 湘潭宏大真空技术股份有限公司
主分类号: C23C14/56 分类号: C23C14/56;E05D3/06
代理公司: 上海精晟知识产权代理有限公司 31253 代理人: 冯子玲
地址: 411101 湖*** 国省代码: 湖南;43
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摘要: 发明公开了一种真空镀膜生产线用密合机构,包括铰链件和紧锁件,所述铰链件连接真空镀膜生产线中各功能腔室的室门与门框,所述室门经铰链件开合,紧锁件安装在门框上。与现有技术相比,本发明中密合机构采用双轴承设计能保证门铰链的灵活转动,使门铰链不易损坏;在配合门紧锁装置一并使用时,双轴的设计能推动门体和门框整体像腔室内部平移,使得门体与门框之间不会产生大范围的间隙,从而门体能更为紧密的与门框贴合,真空腔室的密封效果也更佳,因此,本发明具有广阔的市场前景。
搜索关键词: 一种 真空镀膜 生产线 用密合 机构
【主权项】:
一种真空镀膜生产线用密合机构,其特征在于:所述密合机构包括铰链件和紧锁件,所述铰链件连接真空镀膜生产线中各功能腔室的室门与门框,所述室门经铰链件开合,所述紧锁件安装在门框上。
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