[发明专利]在微流体结构中产生化学物图案的方法在审
| 申请号： | 201310689189.5 | 申请日： | 2013-12-12 |
| 公开（公告）号： | CN104515737A | 公开（公告）日： | 2015-04-15 |
| 发明（设计）人： | 蔡尚颖;洪丽閔;彭荣辉 | 申请（专利权）人： | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/05 | 分类号： | G01N21/05 |
| 代理公司： | 北京德恒律治知识产权代理有限公司 11409 | 代理人： | 章社杲;孙征 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明提供了流通池和制造流通池的方法。该方法包括组合三个部分：第一衬底、第二衬底以及位于第一衬底和第二衬底之间的微流体流道，该微流体流道具有光刻胶干膜构成的壁。在第一衬底或第二衬底中形成有用于入口和出口的通孔。通过纳米压印光刻工艺将图案化的捕获点压印在第一衬底和第二衬底上。在其他实施例中，部分图案化的捕获点的选择性地粘附于表面化学物图案上，表面化学物图案由分别设置在软底层的露出部分上的氧化硅岛部形成。 | ||
| 搜索关键词： | 流体 结构 中产 生化学 图案 方法 | ||
【主权项】：
一种形成流通池的方法，所述方法包括：使用纳米压印光刻将图案化的助粘剂压印在第一衬底上；使用纳米压印光刻将生物介质压印在所述第一衬底上的所述图案化的助粘剂上以形成第一捕获点图案；在所述第一衬底和第二衬底中的至少一个上形成图案化的聚合物层；以及聚合物将所述第一衬底接合至所述第二衬底；其中，所述第一衬底和所述第二衬底中的至少一个是透明的。
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