[发明专利]一种无液氦低温扫描隧道显微镜在审
| 申请号： | 201310682311.6 | 申请日： | 2013-12-11 |
| 公开（公告）号： | CN104714053A | 公开（公告）日： | 2015-06-17 |
| 发明（设计）人： | 张海霞;傅明晟 | 申请（专利权）人： | 绍兴匡泰仪器设备有限公司 |
| 主分类号： | G01Q60/10 | 分类号： | G01Q60/10 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人： | 吴贵明;张永明 |
| 地址： | 312030 浙江省绍兴*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种无液氦低温扫描隧道显微镜。该无液氦低温扫描隧道显微镜包括：制冷机（10），制冷机（10）包括有制冷剂循环流动管，制冷剂在制冷剂循环流动管内循环流动制冷；以及真空室（20），连接至制冷机（10）上，并由制冷机（10）提供低温环境。该无液氦低温扫描隧道显微镜通过使制冷剂循环工作，不产生蒸发消耗就能够对扫描隧道显微镜探头进行制冷，达到所要求的低温环境，实现了无液氦消耗的效果，降低了低温扫描隧道显微镜的使用成本，并且适用于难以获得液氦的地区进行科研使用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 无液氦 低温 扫描 隧道 显微镜 | ||
【主权项】：
一种无液氦低温扫描隧道显微镜，其特征在于，包括：制冷机（10），所述制冷机（10）包括有制冷剂循环流动管，制冷剂在所述制冷剂循环流动管内循环流动制冷；以及真空室（20），连接至所述制冷机（10）上，并由所述制冷机（10）提供低温环境。
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