[发明专利]柔性衬底卷对卷制膜退火一体化的制备方法

摘要

本发明涉及一种柔性衬底卷对卷制膜退火一体化的制备方法，包括从卷对卷装置一端卷上柔性衬底的下面连续镀膜直至柔性衬底卷到卷对卷装置另一端的卷上，其特点是：所述柔性衬底连续镀膜后，柔性衬底卷到卷对卷装置另一端前连续进行退火处理。本发明通过将卷对卷装置上的柔性衬底连续镀膜后，柔性衬底卷到卷对卷装置另一端前连续进行退火处理，使得柔性衬底在同一装置中即可完成镀膜、退火的过程，并且柔性衬底在退火时为单片退火，相对于整卷柔性衬底退火，不仅提高了薄膜电池制作的材料性能，而且大大提高了生产效率，并且制作过程简单，生产维护成本低。

主权项

柔性衬底卷对卷制膜退火一体化的制备方法，包括从卷对卷装置一端卷上柔性衬底的下面连续镀膜直至柔性衬底卷到卷对卷装置另一端的卷上，其特征在于：所述柔性衬底连续镀膜后，柔性衬底卷到卷对卷装置另一端前连续进行退火处理；所述连续进行退火处理的过程包括：在卷对卷装置中通过挡板隔离出一个退火室，在退火室中柔性衬底的上、下两面各安装一个加热背板，每一个加热背板上安装测温热偶，控制加热背板上的温度在150～400℃之间；在退火室的上方安装通入退火气体的送气管。