[发明专利]吸音隔声装置及光刻设备在审
| 申请号： | 201310670312.9 | 申请日： | 2013-12-10 |
| 公开（公告）号： | CN104698763A | 公开（公告）日： | 2015-06-10 |
| 发明（设计）人： | 钟亮;王璟;季采云 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提出了一种吸音隔声装置及光刻设备，采用中空板进行隔音，且对中空板内抽真空，降低空气密度可以获得极佳的隔声效果，并且吸声材料具有良好的吸声性能，能够进一步的起到隔音效果；进一步的，本发明提出的梯形结构可以增加中空板的吸声能力，将其应用在光刻设备内部，可以增加光刻设备内的总体吸声面积，降低混响噪声，梯形结构顶层的微穿孔可以扩展结构吸声频段和吸声能力，同时，提出的光刻设备采用上述吸音隔声装置，由于吸音隔声装置具有宽频隔声吸声能力，降低噪声对光刻设备整机动态性能的影响，保证了物镜系统的曝光精确度和调平调焦系统的准确性，进而提高了光刻工艺的精度。 | ||
| 搜索关键词： | 吸音 装置 光刻 设备 | ||
【主权项】：
一种吸音隔声装置，用于消除噪声源产生的噪声，所述装置包括：中空板，所述中空板内部中空，并将中空板内部抽成真空；吸声材料，所述吸声材料粘附于所述中空板的表面。
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