[发明专利]一种外延片拉曼散射光谱数据生成方法

摘要

本发明公开了一种外延片拉曼散射光谱数据生成方法，属于半导体材料制造设备技术领域。该方法在石墨盘旋转的情况下，通过控制采集数据的时间间隔及每个数据采集周期对应的起始外延片，可以使采集的数据遍历布设在石墨盘外周上的所有外延片，即得到布设在石墨盘外周上的所有外延片拉曼散射光谱数据，从而，本发明提供的外延片拉曼散射光谱数据生成方法能够连续、自动生成布设在石墨盘外周上的外延片拉曼散射光谱数据。

主权项

一种外延片拉曼散射光谱数据生成方法，其特征在于，包括以下步骤：根据石墨盘每转一圈需要的时间和采集数据的时间间隔，确定石墨盘每转一圈采集数据的次数，其中，石墨盘每转一圈需要的时间与采集数据的时间间隔的比值为正整数；根据石墨盘每转一圈采集数据的次数和布设在石墨盘外周上的外延片的数量，确定石墨盘在旋转的每一圈采集数据对应的各外延片，其中，布设在石墨盘外周上的外延片的数量与石墨盘每转一圈采集数据的次数的比值为正整数；以石墨盘每旋转两圈为一个数据采集周期，在每个数据采集周期内，当石墨盘旋转第一圈时，采集所述对应的各外延片的拉曼散射光谱及背景光谱；当石墨盘旋转第二圈时，采集所述对应的各外延片的背景光谱，则，所述对应的各外延片的拉曼散射光谱及背景光谱‑所述对应的各外延片的背景光谱即生成在每个数据采集周期内所述对应的各外延片拉曼散射光谱数据；连续改变每个数据采集周期对应的起始外延片，使采集的数据遍历布设在石墨盘外周上的所有外延片，即得到布设在石墨盘外周上的所有外延片拉曼散射光谱数据。