[发明专利]一种校验质量流量控制器的装置及方法有效
| 申请号： | 201310638823.2 | 申请日： | 2013-12-03 |
| 公开（公告）号： | CN104678985B | 公开（公告）日： | 2018-10-09 |
| 发明（设计）人： | 吴啸;胡锡峰;毛伟晨 | 申请（专利权）人： | 无锡华润华晶微电子有限公司 |
| 主分类号： | G05B23/02 | 分类号： | G05B23/02 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 胡彬 |
| 地址： | 214028 江苏省无锡市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种校验质量流量控制器的装置及方法，所述装置包括：标准质量流量控制器组、被校验质量流量控制器、第一传感器、第二传感器、处理器和气动阀组；标准质量流量控制器组包括至少两个标准质量流量控制器，第一传感器读取气体流经标准质量流量控制器的第一参数；第二传感器读取气体流经被校验质量流量控制器的第二参数；处理器选择标准质量流量控制器，并判断被校验质量流量控制器是否合格；气动阀组包括第一气动阀，还包括第二气动阀和第三气动阀。通过本发明公开的装置及方法，能够依据被校验质量流量控制器的量程自动选择与之相对应的标准质量流量控制器，不再需要频繁的拆装标准质量流量控制器，提高了校准质量流量控制器的效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 校验 质量 流量 控制器 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种校验质量流量控制器的装置，其特征在于，包括：标准质量流量控制器组、被校验质量流量控制器、第一传感器、第二传感器、处理器和气动阀组；所述标准质量流量控制器组包括至少两个标准质量流量控制器，各个所述标准质量流量控制器具有不同量程；所述第一传感器与所述标准质量流量控制器组连接，用于读取气体流经所述标准质量流量控制器的第一参数；所述第二传感器与所述被校验质量流量控制器连接，用于读取气体流经所述被校验质量流量控制器的第二参数；所述处理器，用于依据所述被校验质量流量控制器的量程来选择所述标准质量流量控制器，并根据接收到的所述第一参数和所述第二参数来判断所述被校验质量流量控制器是否合格；所述气动阀组包括若干个与各个所述标准质量流量控制器相对应的第一气动阀，各个所述第一气动阀的一端与进气口连接，另一端与相对应的所述标准质量流量控制器连接；所述气动阀组还包括第二气动阀和第三气动阀，所述第二气动阀的一端连接标准质量流量控制器组，另一端连接所述被校验质量流量控制器；所述第三气动阀的一端连接所述被校验质量流量控制器，另一端连接排气端；第四气动阀，一端连接所述进气口，另一端连接所述被校验质量流量控制器；第五气动阀，一端连接氦气发生装置，另一端连接释放口；第六气动阀，一端连接所述被校验质量流量控制器，另一端连接氦气真空检漏仪；封装所述被校验质量流量控制器、所述第二气动阀、所述第三气动阀、所述第四气动阀、所述第五气动阀、所述第六气动阀和所述第二传感器的外壳。
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