[发明专利]一种刻蚀酸雾抽离器在审
| 申请号： | 201310635791.0 | 申请日： | 2013-12-03 |
| 公开（公告）号： | CN104667559A | 公开（公告）日： | 2015-06-03 |
| 发明（设计）人： | 张田超;钟立华 | 申请（专利权）人： | 昆山国显光电有限公司 |
| 主分类号： | B01D5/00 | 分类号： | B01D5/00 |
| 代理公司： | 北京汇泽知识产权代理有限公司 11228 | 代理人： | 马廷昭 |
| 地址： | 215300 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种刻蚀酸雾抽离器，其用于湿式刻蚀中，该刻蚀酸雾抽离器包括有抽风管道、冷凝器、接液盘及回流管，该抽风管道内为负压并抽离刻蚀机腔室内形成的酸雾，该冷凝器位于抽风管道下方并连通该抽风管道，该冷凝器将抽离后的酸雾凝集成酸液，该接液盘位于该冷凝器下方并接收凝集的酸液，该回流管位于该接液盘底部并连通该接液盘，该回流管将该接液盘内的酸液导流进该刻蚀机腔室内。利用本发明的刻蚀酸雾抽离器，可避免在湿法刻蚀基板时，酸性液滴落在基板上导致对基板的刻蚀不均匀、产品良率低的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 刻蚀 酸雾抽离器 | ||
【主权项】：
一种刻蚀酸雾抽离器，其用于湿式刻蚀中，其特征在于，该刻蚀酸雾抽离器包括有抽风管道（111）、冷凝器（108）、接液盘（106）及回流管（105），该抽风管道（111）内为负压并抽离刻蚀机腔室（101）内形成的酸雾，该冷凝器（108）位于抽风管道（111）下方并连通该抽风管道（111），该冷凝器（108）将抽离后的酸雾凝集成酸液，该接液盘（106）位于该冷凝器（108）下方并接收凝集的酸液，该回流管（105）位于该接液盘（106）底部并连通该接液盘（106），该回流管（105）将该接液盘（106）内的酸液导流进该刻蚀机腔室（101）内。
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