[发明专利]一种用于光刻机楔形板的打孔方法无效
| 申请号： | 201310632121.3 | 申请日： | 2013-12-02 |
| 公开（公告）号： | CN103624480A | 公开（公告）日： | 2014-03-12 |
| 发明（设计）人： | 陈静;蒋泉权;顾亚平;魏向荣 | 申请（专利权）人： | 上海现代先进超精密制造中心有限公司 |
| 主分类号： | B23P13/00 | 分类号： | B23P13/00 |
| 代理公司： | 上海新天专利代理有限公司 31213 | 代理人： | 张泽纯 |
| 地址： | 200433 上海市杨*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 发明公开了一种用于光刻机楔形板的打孔方法，包括：选择或制备符合要求的待用楔形板和玻璃垫板；建立超净工作室和超净工作台；擦拭楔形板和玻璃垫板；玻璃垫板和楔形板粘合形成组合体；组合体与夹具的上端面粘接；夹具下端面固定在DMG超声波机床上；在楔形板上进行打孔处理。本发明能有效的控制孔的形位公差和零件崩边，使产品的报废率大大降低，确保楔板要求及最终光刻机要求。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 光刻 楔形 打孔 方法 | ||
【主权项】：
一种用于光刻机楔形板的打孔方法，其特征在于，该方法包括如下步骤：①选择或制备符合要求的待用楔形板，以及形状与该楔形板相一致、长度和宽度均比该楔形板的长度和宽度小0.2～0.5mm的玻璃垫板；②建立超净工作室和超净工作台，工作室室内温度为20～26℃±0.1℃，湿度为50～70%，标准大气压下超净工作台上进行后续楔形板的粘合工作；③在超净工作台，工作人员带上洁净手套和口罩,用光学玻璃擦拭布蘸上酒精对待用楔形板和玻璃垫板进行擦拭，在擦拭过程中把楔形板放在100w的灯光下仔细观看表面灰尘，直到无人眼可见灰尘，擦拭完毕；④把玻璃垫板和楔形板之间用蜡进行粘合形成组合体，粘合时使蜡充满整个楔形板面和玻璃垫板面，确保玻璃垫板和楔形板之间无气泡，且保证玻璃垫板的外围不超过楔形板边缘；⑤把组合体中玻璃垫板的另一面与夹具的上端面粘接；⑥步骤⑤所粘接好的夹具下端面固定在DMG超声波机床上；⑦在楔形板上进行打孔处理。
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