[发明专利]一种平板探测器超高真空蒸镀的方法在审
| 申请号： | 201310629061.X | 申请日： | 2013-12-02 |
| 公开（公告）号： | CN103710665A | 公开（公告）日： | 2014-04-09 |
| 发明（设计）人： | 范波 | 申请（专利权）人： | 江苏龙信电子科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/02 | 分类号： | C23C14/02;C23C14/26 |
| 代理公司： | 北京瑞思知识产权代理事务所(普通合伙) 11341 | 代理人： | 李涛 |
| 地址： | 215332 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种平板探测器超高真空蒸镀的方法，具体步骤包括：将衬底用piranha溶液清洗干净后烘干；将衬底放入真空室内，打开真空泵抽气，提高真空度；对真空室内的铝棒加高压电，使其产生辉光放电；一段时间后关掉高压电，再次提高真空度并加热衬底并控制温度；对蒸发源先通低功率电进行预热，然后在通规定功率的电开始蒸发；蒸发完毕后停止抽气并开始充气；最后取出衬底。通过上述方式，本发明一种平板探测器超高真空蒸镀的方法使得薄膜的纯度更高，易于控制薄膜的成分和厚度，排出的污染物较少。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 平板 探测器 超高 真空 方法 | ||
【主权项】：
一种平板探测器超高真空蒸镀的方法，其特征在于，具体步骤包括： （1）将衬底用piranha溶液清洗干净后烘干；（2）将衬底放入真空室内，打开真空泵抽气，提高真空度；（3）对真空室内的铝棒加高压电，使其产生辉光放电； （4）一段时间后关掉高压电，再次提高真空度并加热衬底并控制温度； （5）对蒸发源先通低功率电进行预热，然后在通规定功率的电开始蒸发； （6）蒸发完毕后停止抽气并开始充气；（7）最后取出衬底。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于江苏龙信电子科技有限公司，未经江苏龙信电子科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201310629061.X/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种菊花杀青机中的朵菊摊平装置
- 下一篇：一种皮带机保护控制主机
- 同类专利
- 专利分类
