[发明专利]在带电粒子显微镜中执行样本的层析成像的方法有效
| 申请号： | 201310624541.7 | 申请日： | 2013-11-29 |
| 公开（公告）号： | CN103854941A | 公开（公告）日： | 2014-06-11 |
| 发明（设计）人： | R.肖恩马克斯;U.鲁伊肯;E.M.弗兰肯 | 申请（专利权）人： | FEI公司 |
| 主分类号： | H01J37/26 | 分类号： | H01J37/26;H01J37/28 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 肖日松;杨炯 |
| 地址： | 美国俄*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 一种在带电粒子显微镜中执行样本的层析成像的方法，其包括以下步骤：提供沿粒子光轴传播的带电粒子射束；将样本设置在可关于所述射束倾斜的样本座上；在成像步骤中，引导射束穿过样本，以便在图像探测器处形成和捕获样本的图像；在一列样本倾斜中的每一个下重复该程序，以便获得对应的一组图像；在重建步骤中，数学地处理来自所述组的图像，以便构造样本的合成图像，由此：在所述成像步骤中，对于给定的样本倾斜，一系列构件图像在对应的一系列焦点设定值下被捕获；在所述重建步骤中，对于所述列的样本倾斜的至少一个组成部分，所述一系列构件图像的多个组成部分在所述数学图像处理中使用。这给出了给定样本倾斜下的3D成像立方体而非2D成像片。 | ||
| 搜索关键词： | 带电 粒子 显微镜 执行 样本 层析 成像 方法 | ||
【主权项】：
一种在带电粒子显微镜中执行样本的层析成像的方法，其包括以下步骤：提供沿粒子光轴传播的带电粒子射束；将所述样本设置在可关于所述射束倾斜的样本座上；在成像步骤中，引导所述射束穿过所述样本，以便在图像探测器处形成和捕获所述样本的图像；在一列样本倾斜中的每一个下重复该程序，以便获得对应的一组图像；在重建步骤中，数学地处理来自所述组的图像，以便构造所述样本的合成图像，其特征在于：在所述成像步骤中，对于给定的样本倾斜，一系列构件图像在对应的一系列焦点设定值下被捕获；在所述重建步骤中，对于所述列的样本倾斜的至少一个组成部分，所述一系列构件图像的多个组成部分在所述数学图像处理中使用。
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