[发明专利]一种零位传感器调节装置及方法在审
| 申请号： | 201310621314.9 | 申请日： | 2013-11-29 |
| 公开（公告）号： | CN104677271A | 公开（公告）日： | 2015-06-03 |
| 发明（设计）人： | 王凯 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/00 | 分类号： | G01B11/00;G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京连和连知识产权代理有限公司 11278 | 代理人： | 王光辉 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开一种零位传感器，包括：一基座，用于定位、支撑和包纳该零位传感器；一调节板，包括第一定位销，该调节板可在该基座一面滑动，该调节板上设有第一定位孔和锁紧装置，该锁紧装置用于锁紧该调节板与基座的相对位置；激光准直镜，用于发射激光，该激光准直镜安装在该基座上；角锥反射镜，具有三个相互垂直的光反射面和一个大圆端面，用于接收和反射该激光准直镜的入射光；位置传感器，用于接收该激光的反射光，该反射光在该位置传感器上形成反射光斑，该位置传感器安装在该基座上，该位置传感器与激光准直镜的位置相对固定。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 零位 传感器 调节 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种零位传感器，其特征在于，包括：一基座，用于定位、支撑和包纳所述零位传感器；一调节板，包括第一定位销，所述调节板可在所述基座一面滑动，所述调节板上设有第一定位孔和锁紧装置，所述锁紧装置用于锁紧所述调节板与基座的相对位置；激光准直镜，用于发射激光，所述激光准直镜安装在所述基座上； 角锥反射镜，具有三个相互垂直的光反射面和一个大圆端面，用于接收和反射所述激光准直镜的入射光；位置传感器，用于接收所述激光的反射光，所述反射光在所述位置传感器上形成反射光斑，所述位置传感器安装在所述基座上，所述位置传感器与激光准直镜的位置相对固定。
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