[发明专利]蓝宝石晶体切割时用于检测切割面偏离角的测量方法有效

专利信息
申请号: 201310615870.5 申请日: 2013-11-26
公开(公告)号: CN103644869B 公开(公告)日: 2017-05-10
发明(设计)人: 吴云才 申请(专利权)人: 浙江汇锋新材料股份有限公司
主分类号: G01B15/00 分类号: G01B15/00
代理公司: 嘉兴永航专利代理事务所(普通合伙)33265 代理人: 蔡鼎
地址: 314400 浙江省*** 国省代码: 浙江;33
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摘要: 发明提供了一种用于检测切割面偏离角的测量方法,利用倒棱的方法结合x衍射仪、投影仪进行计算,求得侧边角度偏差,保证产品高强度的一致性。
搜索关键词: 蓝宝石 晶体 切割 用于 检测 偏离 测量方法
【主权项】:
蓝宝石晶体切割时用于检测切割面偏离角的测量方法,其特征在于该测量方法包括以下步骤:步骤一、首先在大面为a面的蓝宝石晶锭上用偏振光仪、x射线晶向仪检出c轴、m轴;在于c轴、m轴夹角为45度的方向画出块料所需的尺寸;步骤二、将晶锭在单线切割机上切割为按步骤一所设定尺寸的毛坯,再放到平面磨上倒出45度的倒角,倒角大小不影响到晶片的加工余量,倒角为c面或m面;步骤三、将倒好角的毛坯放到x射线晶向衍射仪上测出c面或m面的偏离角a的大小,再将毛坯放到投影仪上测出b角大小;利用三角形内角公式算出c角大小;c角就是要检测的偏离角,偏离角计算公式: c=(135+a)‑b 。
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