[发明专利]肖特基栅场效应晶体管温升和热阻测量方法及装置

摘要

肖特基栅场效应晶体管温升和热阻测量方法及装置属于微电子技术中，半导体器件测量技术领域。本发明设计了控制信号控制的快速切换开关；漏源电压切断与栅压由反偏转为正偏的延时精确地由FPGA控制模块设定及输出；正向测试电流下，肖特基结电压的稳态过程与器件自身电容和测试电流值相关，通过采用恒温下，结电压的建立过程，作为恒温参考结电压，减小计算工作下温升的延时误差；采用FPGA设计了漏源电压、漏源电流、栅源电压的采集和设定功能，可以实现小于毫秒级时间的反馈功能，可以有效保护器件由于振荡或误操作带来的器件烧毁。

主权项

一种肖特基栅半导体器件的温升和热阻测量装置，其特征在于，包括以下部分：被测器件放置在可调温的恒温平台上；计算机分为两路；一路时序控制FPGA单元，分别接入电源模块，控制输出栅极电压源、测试电流源、漏极电压源，接入时序脉冲信号，控制状态控制切换开关；状态控制切换开关中的栅源反偏电压和正向测试电流状态由一个通道输出，受控于时序脉冲信号，状态控制切换开关中的漏源电压的通、断受控于时序脉冲信号；状态控制切换开关的两路输出先接入保护电路，再从保护电路分别串联工作电流采样电阻接到被测器件的漏极、串联接到被测器件的栅极；工作电流采样电阻、测试电流采样电阻两端的电压，以及被测器件的栅源电压、漏源电压输出至状态监控器，再经由FPGA单元与计算机实现设置和接收双向控制；从计算机分出的另一路，接入采集器；由被测器件的测试电流下的栅电压接入截取放大器，受参考电压电位器的截取后，输出至采集器，并传给计算机；其中，基准电压给参考电压电位器提供基准电压。