[发明专利]电熔丝结构及半导体器件在审
申请号: | 201310582628.2 | 申请日: | 2013-11-19 |
公开(公告)号: | CN104659013A | 公开(公告)日: | 2015-05-27 |
发明(设计)人: | 廖淼 | 申请(专利权)人: | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
主分类号: | H01L23/525 | 分类号: | H01L23/525 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 骆苏华 |
地址: | 201203 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 一种电熔丝结构及半导体器件,所述电熔丝结构包括:衬底;位于所述衬底上的电熔丝,所述电熔丝包括:熔丝;分别位于所述熔丝两端、并与所述熔丝连接的阳极和阴极;位于所述衬底上、与所述电熔丝之间被介质层电隔离的加热结构,所述加热结构用于将产生的热量传递至所述电熔丝。解决了现有电熔丝熔断电流较大的问题。 | ||
搜索关键词: | 电熔丝 结构 半导体器件 | ||
【主权项】:
一种电熔丝结构,其特征在于,包括:衬底;位于所述衬底上的电熔丝,所述电熔丝包括:熔丝;分别位于所述熔丝两端、并与所述熔丝连接的阳极和阴极;位于所述衬底上、与所述电熔丝之间被介质层电隔离的加热结构,所述加热结构用于将产生的热量传递至所述电熔丝。
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