[发明专利]PN结和SE掺杂一次完成的扩散方法有效
| 申请号： | 201310576833.8 | 申请日： | 2013-11-18 |
| 公开（公告）号： | CN103560178A | 公开（公告）日： | 2014-02-05 |
| 发明（设计）人： | 许颖;袁向东;袁瑒 | 申请（专利权）人： | 北京金晟阳光科技有限公司;袁向东;许颖 |
| 主分类号： | H01L31/18 | 分类号： | H01L31/18;F27B9/30 |
| 代理公司： | 青岛发思特专利商标代理有限公司 37212 | 代理人： | 马俊荣 |
| 地址： | 100102 北京市朝*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明属于半导体技术领域，具体涉及一种PN结和SE掺杂一次完成的扩散方法。该方法是在被扩散物的扩散面上形成一层含有掺杂物质的涂层，在PN结区域和SE区域形成的涂层分别具有不同的密度或浓度或组分；其中，SE区域涂层密度或浓度高于PN结区域涂层密度或浓度；或者，SE区域和PN结区域的涂层其掺杂物质的组分不同；将表面附着了上述涂层的被扩散物在一组可以沿轴线方向往复转动的水平辊道传输下进入高温区进行加热处理，一次完成PN结和SE的掺杂。该方法不但有效解决PN结和SE掺杂一次完成的问题，实现PN结和SE掺杂工艺的连续化生产，而且还解决连续化生产过程中扩散环境气氛的洁净度问题。 | ||
| 搜索关键词： | pn se 掺杂 一次 完成 扩散 方法 | ||
【主权项】：
一种PN结和SE掺杂一次完成的扩散方法，其特征在于：在被扩散物的扩散面上形成一层含有掺杂物质的涂层，在PN结区域和SE区域形成的涂层分别具有不同的密度或浓度或组分；其中，SE区域涂层密度或浓度高于PN结区域涂层密度或浓度；或者，SE区域和PN结区域的涂层其掺杂物质的组分不同；将表面附着了上述涂层的被扩散物在高温下进行处理，一次完成PN结和SE的掺杂。
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H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
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