[发明专利]基板作业系统、基板搬运装置及基板作业装置有效
| 申请号： | 201310574408.5 | 申请日： | 2013-11-15 |
| 公开（公告）号： | CN103826429A | 公开（公告）日： | 2014-05-28 |
| 发明（设计）人： | 菅原一之;大畑利彦 | 申请（专利权）人： | 雅马哈发动机株式会社 |
| 主分类号： | H05K13/00 | 分类号： | H05K13/00 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人： | 穆德骏;谢丽娜 |
| 地址： | 日本静冈*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供基板作业系统、基板搬运装置及基板作业装置，该基板作业系统具有对基板进行作业的基板作业装置和包含第一基板搬运部并与基板作业装置接续的基板搬运装置。并且，在基板搬运装置上设有挡板装置，在进行第一基板搬运部的准备时该挡板装置关闭使得从第一基板搬运部一侧通至基板作业装置一侧的开口间隙的最大间隔为规定值以下。 | ||
| 搜索关键词： | 作业 系统 搬运 装置 | ||
【主权项】：
一种基板作业系统，具备：基板作业装置，对基板进行作业；及基板搬运装置，包括第一基板搬运部、第二基板搬运部和罩部件，并与所述基板作业装置接续，其中所述第一基板搬运部在规定方向上搬运所述基板，所述第二基板搬运部在与所述规定方向正交的方向上与所述第一基板搬运部邻接地配置而搬运所述基板，所述罩部件覆盖所述第一基板搬运部和所述第二基板搬运部，在所述基板作业装置或所述基板搬运装置的至少一方设有挡板装置，在进行所述第一基板搬运部的准备时该挡板装置关闭使得从所述第一基板搬运部一侧通至所述基板作业装置一侧的开口间隙的最大间隔为规定值以下。
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