[发明专利]用于沉积有机材料的设备在审
| 申请号： | 201310571206.5 | 申请日： | 2013-11-13 |
| 公开（公告）号： | CN103805957A | 公开（公告）日： | 2014-05-21 |
| 发明（设计）人： | 林亨泽;朴镇佑 | 申请（专利权）人： | 三星显示有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C14/04;C23C14/12;C23C14/24;H01L51/56 |
| 代理公司： | 北京德琦知识产权代理有限公司 11018 | 代理人： | 李文颖;周艳玲 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 一种用于沉积有机材料的沉积设备包括：具有一表面的支撑辊，所述表面被配置为将柔性基板接纳在所述表面上，所述支撑辊被配置为旋转；与所述支撑辊分隔的沉积源，所述沉积源被配置为将所述有机材料沉积于在所述支撑辊上的所述柔性基板上；和定位在所述支撑辊与所述沉积源之间的掩膜，所述掩膜包括被配置成允许所述有机材料从所述沉积源通向所述支撑辊的开口。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 沉积 有机 材料 设备 | ||
【主权项】：
一种用于沉积有机材料的沉积设备，所述设备包括：具有一表面的支撑辊，所述表面被配置为将柔性基板接纳在所述表面上，所述支撑辊被配置为旋转；与所述支撑辊分隔的沉积源，所述沉积源被配置为将所述有机材料沉积于在所述支撑辊上的所述柔性基板上；和定位于所述支撑辊与所述沉积源之间的掩膜，所述掩膜包括被配置成允许所述有机材料从所述沉积源通向所述支撑辊的开口。
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