[发明专利]一种锑化锌基热电薄膜及其制备方法有效
| 申请号： | 201310568668.1 | 申请日： | 2013-11-15 |
| 公开（公告）号： | CN103572243A | 公开（公告）日： | 2014-02-12 |
| 发明（设计）人： | 范平;郑壮豪;梁广兴;张东平;罗景庭 | 申请（专利权）人： | 深圳大学 |
| 主分类号： | C23C14/46 | 分类号： | C23C14/46;C23C14/58;C23C14/14 |
| 代理公司： | 深圳市君胜知识产权代理事务所 44268 | 代理人： | 王永文;刘文求 |
| 地址： | 518060 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开一种锑化锌基热电薄膜及其制备方法，其中，制备方法包括步骤：采用离子束溅射沉积法首先在绝缘衬底上镀制上一层Sb薄膜层，然后在Sb薄膜层上镀制一层Zn薄膜层，再在Zn薄膜层上镀制一层Sb薄膜层，镀制完成后，在具有惰性气体的气氛条件下，进行高温原位热处理制备得到锑化锌基热电薄膜。本发明的制备方法工艺简单、重复性好、原材料利用率高，不仅能保证高温退火过程中Zn的不缺失，同时可对锑化锌基热电薄膜各元素间进行高精度的控制和可控掺杂，能够有效优化薄膜结构和提高薄膜的热电性能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 锑化锌基 热电 薄膜 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种锑化锌基热电薄膜的制备方法，其特征在于，包括步骤：采用离子束溅射沉积法首先在绝缘衬底上镀制上一层Sb薄膜层，然后在Sb薄膜层上镀制一层Zn薄膜层，再在Zn薄膜层上镀制一层Sb薄膜层，镀制完成后，在具有惰性气体的气氛条件下，进行高温原位热处理制备得到锑化锌基热电薄膜。
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