[发明专利]金属弹性构件、微机械装置、微机械装置的制造方法、摆动控制装置以及摆动控制方法

摘要

本发明提供一种金属弹性构件，其用于微机械装置（1）的梁部（4），该微机械装置（1）包含至少一个可动部（3）、固定部（2）、从两侧将可动部（3）支承于固定部（2）的一对梁部（4），能够使可动部绕以梁部（4）为扭转旋转轴的轴心（P）摆动，其中，金属弹性构件包含：规定长度的金属棒状部（4a）；固定侧垫片（4b），其形成于金属棒状部（4a）的一端侧且固定于固定部（2）；以及可动侧垫片（4c），其形成于金属棒状部（4a）的另一端侧且固定于可动部（3），至少金属棒状部（4a）使用除机械加工法以外的物理或化学加工法而成形为截面积1mm²以下，且使可动部（3）在频率为150Hz～500Hz的范围内摆动。

主权项

一种金属弹性构件，其用于微机械装置的梁部，该微机械装置包括至少一个可动部、固定部、从两侧将所述可动部支承于所述固定部的一对所述梁部，能够使所述可动部绕以所述梁部为扭转旋转轴的轴心摆动，该金属弹性构件的特征在于，所述金属弹性构件包含：规定长度的金属棒状部，其使所述可动部摆动；固定侧垫片，其形成于所述金属棒状部的一端侧且固定于所述固定部；以及可动侧垫片，其形成于所述金属棒状部的另一端侧且固定于所述可动部，至少所述金属棒状部是使用除机械加工法以外的物理或化学加工法而成形为截面积1mm²以下。