[发明专利]一种嵌入式自测温微热台及其制备方法

摘要

本发明提供了一种嵌入式自测温微热台及其制备方法。微热台的结构从上到下依次为：上绝缘层、电阻丝填埋层、下绝缘层和具有绝热槽的硅支撑框架。使用本发明中提出的填埋工艺将特定图案的电阻丝填埋进已刻蚀的氧化硅沟槽中，通过控制沟槽深度和电阻丝厚度一致，最终得到表面平整的微型热台。微型热台的背部硅基底被腐蚀，形成绝热槽，极大的减小了热量损失。使用本发明中提出的电阻丝分布方式，使得热台具有高度的热均匀性。在微型热台中植入测温电阻，使热台具有自测温功能，也实现了外部测试装置的简化。

主权项

一种嵌入式自测温微热台，其特征在于，其结构自上到下依次为：上绝缘层（1）、电阻填埋层（2）、下绝缘层（3）、硅支撑框架（4）、窗口层（5）；所述电阻填埋层（2）包括加热电阻丝（6）和测温电阻丝（7）。