[发明专利]梯形金属介质膜宽带脉冲压缩光栅无效
| 申请号： | 201310544973.7 | 申请日： | 2013-11-06 |
| 公开（公告）号： | CN103728685A | 公开（公告）日： | 2014-04-16 |
| 发明（设计）人： | 晋云霞;关贺元;刘世杰;易葵;邵建达 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | G02B5/18 | 分类号： | G02B5/18 |
| 代理公司： | 上海新天专利代理有限公司 31213 | 代理人： | 张泽纯 |
| 地址： | 201800 上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种梯形金属介质膜宽带脉冲压缩光栅，特点在于其是由石英基底，金层，两层介质膜组成的匹配层和三层介质膜组成的梯形光栅脊一体构成，最外层为SiO2。该梯形光栅的周期为490-640纳米；占空比为0.2-0.7；光栅脊底角为60°-89°，光栅脊中间层为高折射率层，内外层为低折射率层SiO2；匹配层外层为高折射率层，内层低折射率层；金属层厚度大于50纳米。本发明金属介质膜宽带脉冲压缩光栅可用作800纳米中心波长的高功率超短脉冲激光系统的脉冲压缩光栅。 | ||
| 搜索关键词： | 梯形 金属 介质 宽带 脉冲 压缩 光栅 | ||
【主权项】：
一种用于800纳米中心波长的梯形金属介质膜宽带脉冲压缩光栅，特点在于其是由依次的石英基底、金属层（8）、匹配层（7）和梯形光栅脊（4）一体构成，所述的梯形光栅脊（4）由3层膜组成，中间层（2）为高折射率膜层，内层（3）和外层（1）为低折射率膜层，该梯形光栅（4）的周期为490‑640纳米，占空比为0.2～0.7，光栅脊的底角为60°～89.9°，外层（1）厚度不超过162纳米，中间层（2）厚度124～218纳米，内层（3）厚度33‑128纳米，所述的匹配层（7）由2层膜组成，外层（5）为高折射率层，厚度为100～200纳米；内层（6）低折射率膜层，厚度为50～200纳米，所述的金属层（8）的厚度大于50纳米。
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