[发明专利]一种位置可调的分立平面环形F-P腔

摘要

本发明涉及一种位置可调的分立平面环形F-P腔，属于外腔半导体激光器技术领域。具体包括第一高反射膜、第二高反射膜、第一基底、第二基底和待测反射膜；光线入射到待测反射膜上，在入射点发生反射和折射，形成外部反射光束和进入F-P腔的折射光束；其中进入F-P腔的折射光束部分，正入射在第一高反射膜表面，在第一高反射膜入射点被反射回到待测反射膜入射点，在该点发生透射和反射；其反射部分正入射到第二高反射膜表面，在第二高反射膜入射点被反射，再回到待测反射膜入射点发生透射和反射，形成谐振，第一高反射膜、第二高反射膜所成角度可调，且调节过程简单有效，元件加工容易。

主权项

一种位置可调的分立平面环形F‑P腔，其特征在于：包括第一高反射膜、第二高反射膜、第一基底、第二基底和待测反射膜；第一高反射膜和第二高反射膜，均为平面结构，成一定角度放置，构成F‑P腔的两端反射面，所成角度保证光束分别垂直入射第一高反射膜和第二高反射膜；第一高反射膜和第二高反射膜分别采用由Ta₂O₅和SiO₂组成的多层高低反射膜叠加而成，反射率达到99.9％；第一高反射膜和第二高反射膜分别镀在第一基底和第二基底上；所述待测反射膜作为平面环形F‑P腔的入射面和输出耦合面；环形F‑P腔的光路为：光线入射到待测反射膜上，在入射点发生反射和折射，形成外部反射光束和进入F‑P腔的折射光束；其中进入F‑P腔的折射光束部分，正入射在第一高反射膜表面，在第一高反射膜入射点被反射回到待测反射膜入射点，在该点发生透射和反射；其反射部分正入射到第二高反射膜表面，在第二高反射膜入射点被反射，再回到待测反射膜入射点发生透射和反射，形成谐振，环形F‑P腔的谐振光作为反馈光沿着与原入射光束共线反向的路径出射。