[发明专利]高纯石墨结晶器的镀碳工艺无效
| 申请号： | 201310524432.8 | 申请日： | 2013-10-31 |
| 公开（公告）号： | CN104593745A | 公开（公告）日： | 2015-05-06 |
| 发明（设计）人： | 乔帅 | 申请（专利权）人： | 青岛泰浩达碳材料有限公司 |
| 主分类号： | C23C16/26 | 分类号： | C23C16/26;C23C16/442;B22D11/059 |
| 代理公司： | 无 | 代理人： | 无 |
| 地址： | 266700 山*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种高纯石墨结晶器的镀碳工艺，将切削加工制成的高纯石墨结晶器进行净化处理后放入流化床反应器内，打开抽气系统，对沉积炉抽真空至真空度0.06个大气压；打开供电装置，用碳管炉加热炉体至1350℃；开启运载气体和石油液化气，以5:1的比例、4.5L/min的流量通入反应混合气，生成热解碳进行沉积；打开抽气系统排出炉内废气，反应停止后，打开冷却水装置，通过夹层冷却水冷却炉内温度至室温。方法简单，便于操作，使结晶器具有良好的导热性，内壁有较高的光洁度和耐磨性，使用寿命长。 | ||
| 搜索关键词： | 高纯 石墨 结晶器 工艺 | ||
【主权项】：
一种高纯石墨结晶器的镀碳工艺，其特征在于：包括以下步骤：（1）将切削加工制成的高纯石墨结晶器进行净化处理后放入流化床反应器内，打开抽气系统，对沉积炉抽真空至真空度0.06个大气压；（2）打开供电装置，用碳管炉加热炉体至1350℃；（3）开启运载气体和石油液化气，以5:1的比例、4.5L/min的流量通入反应混合气，生成热解碳进行沉积；（4）打开抽气系统排出炉内废气，反应停止后，打开冷却水装置，通过夹层冷却水冷却炉内温度至室温。
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
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C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
