[发明专利]融合函数型数据描述的等离子刻蚀过程的故障检测方法

摘要

本发明涉及一种融合函数型数据描述的等离子刻蚀过程的故障检测方法，其步骤为：设置一包括等离子刻蚀设备、数据采集设备和监控设备的故障检测系统；数据采集设备采集等离子刻蚀设备中监控变量的历史数据和实时数据，历史数据构成训练集后传输至参数设置模块和数据处理模块，实时数据传输至数据处理模块；在参数设置模块中设置参数，并传输至数据处理模块；数据处理模块分别将训练集和实时数据转化成新训练集和列向量后传输至模型训练模块和故障检测模块；根据新训练集，模型训练模块建立SVDD故障检测模型并传输至故障检测模块；根据接收到的列向量和SVDD故障检测模型，故障检测模块对实时数据进行判断并输出结果。

主权项

1.一种融合函数型数据描述的等离子刻蚀过程的故障检测方法，其包括以下步骤：1）设置一包括等离子刻蚀设备、数据采集设备和监控设备的故障检测系统；监控设备内预置有参数设置模块、数据处理模块、模型训练模块和故障检测模块；2）数据采集设备采集等离子刻蚀设备中监控变量的历史数据和实时数据，并将监控变量的历史数据构成训练集{X₁,...,X_i,...,X_I}，i＝1,...,I，I为产品批次个数；数据采集设备将训练集{X₁,...,X_i,...,X_I}分别传输至参数设置模块和数据处理模块，将监控变量的实时数据X_new传输至数据处理模块；3）根据接收到的训练集{X₁,...,X_i,...,X_I}中各个监控变量在所有产品批次内的轨迹变化特征，在参数设置模块中设置参数，并将设置的参数传输至数据处理模块；4）根据步骤3）中设置的参数，数据处理模块将训练集{X₁,...,X_i,...,X_I}转化成由I个维列向量组成的集合并将集合作为新训练集传输至模型训练模块；数据处理模块将接收到的监控变量的实时数据X_new转化成维列向量并将列向量传输至故障检测模块；5）利用步骤4）中所得到的新训练集模型训练模块采用SVDD方法得到SVDD故障检测模型的关键部分：各拉格朗日乘子的最优解和半径R,并传输至故障检测模块；6)根据接收到的列向量和SVDD故障检测模型，故障检测模块判断监控变量的实时数据X_new是否出现故障，并输出判断结果。