[发明专利]1×2平行光分束双面集成光栅无效
| 申请号： | 201310497344.3 | 申请日： | 2013-10-22 |
| 公开（公告）号： | CN103558659A | 公开（公告）日： | 2014-02-05 |
| 发明（设计）人： | 周常河;李树斌;曹红超;吴俊;朱锋 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | G02B6/124 | 分类号： | G02B6/124 |
| 代理公司： | 上海新天专利代理有限公司 31213 | 代理人： | 张泽纯 |
| 地址： | 201800 上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种用于1064纳米波长的TM偏振的石英的1×2平行光分束双面集成光栅，该光栅的周期为797～803纳米，脊深为1707～1711纳米，占空比为0.5，用于实现-1级高效率衍射的光栅的周期为800纳米，脊深为3417纳米，占空比为0.5。当TM偏振光在一级布拉格角入射时，其透射光将分成等强度的2束平行光，这2束光总的衍射效率大于97%，并且其均匀性优于7%。本发明TM偏振倾斜石英1×2平行光分束光栅由电子束直写装置结合微电子深刻蚀工艺加工而成，取材方便，造价小，能大批量生产，具有重要的实用前景。 | ||
| 搜索关键词： | 平行 光分束 双面 集成 光栅 | ||
【主权项】：
一种1064纳米波长的TM偏振的石英的1×2平行光分束双面集成光栅，其特征在于该光栅的周期为797～803纳米，脊深为1707～1711纳米，占空比为0.5，用于实现‑1级高效率衍射的光栅的周期为800纳米，脊深为3417纳米，占空比为0.5。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国科学院上海光学精密机械研究所，未经中国科学院上海光学精密机械研究所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201310497344.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种手表订票系统
- 下一篇：一种新型网站论坛搜索系统
