[发明专利]硅循环再利用系统及其方法有效
| 申请号： | 201310495624.0 | 申请日： | 2013-10-21 |
| 公开（公告）号： | CN103806097B | 公开（公告）日： | 2017-08-08 |
| 发明（设计）人： | 永井久雄;山西齐;青仓勇;山田芳生 | 申请（专利权）人： | 松下知识产权经营株式会社 |
| 主分类号： | C30B29/06 | 分类号： | C30B29/06;C01B33/02 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司11219 | 代理人： | 穆德骏,谢丽娜 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及硅循环再利用系统及其方法。本发明的目的在于提供一种能够从在硅的切片加工中所排出的硅泥中对更多的硅量进行再利用，并能够形成以碳元素、氧元素为首的杂质少的硅的硅循环再利用系统及其方法。由从对硅锭进行切片加工时所产生的废液中回收硅泥的回收装置（S20）、对所述已回收的硅泥照射微波来进行加热的微波加热装置（S30）、将所述已加热的硅泥熔融并使其单方向凝固来形成硅锭的熔融/凝固装置（S40）构成。而且，通过按上述装置的顺序处理硅泥，能够对碳元素、氧元素等的杂质少的更多的硅量进行再利用。 | ||
| 搜索关键词： | 循环 再利用 系统 及其 方法 | ||
【主权项】：
一种硅循环再利用系统，其特征在于，由以下装置构成：从对硅锭进行了切片时所产生的废液中回收硅泥的回收装置；对通过所述回收装置所回收的硅泥照射微波来对所述硅泥进行加热而形成碳元素浓度为1ppma以下、氧元素浓度为20ppma以下的多晶硅的加热装置；和将通过所述加热装置已被加热的包含所述多晶硅的所述硅泥熔融并使其凝固，并通过所述硅泥形成硅锭的熔融/凝固装置，所述加热装置具有对硅泥进行搅拌的搅拌装置。
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