[发明专利]一种制备新型导电氧化锌铝镓材料及薄膜的方法

摘要

本发明的目的是提供一种制备新型导电氧化锌铝镓材料及薄膜的方法，使用注浆成型制备新型氧化锌铝镓靶材，不使用氧化铟材料，降低靶材的成本。搭配中间层的银或银合金薄膜，形成三明治的多层薄膜结构设计，在适当的厚度控制下大幅降低薄膜的电阻，維持薄膜在可见光的高透光度，提高了氧化锌铝镓薄膜在非晶硅及CIGS等薄膜光电池中的应用性，满足了生产的要求。由于适合低温度(<150℃)镀膜，所以可以应用于玻璃基材或者可挠性PET基材，扩大了应用范围。电阻值可降低至6x10-5Ωcm以下，透光性可高达85％以上。

主权项

一种制备新型导电氧化锌铝镓材料及薄膜的方法，其特征在于：所述氧化锌铝镓靶材的氧化铝质量分数含量在0.1‑5.0wt%，氧化镓的质量分数含量0.1‑5.0 wt %，余量为氧化锌；使用氧化锆球、纯水及分散剂研磨充分混合氧化铝、氧化镓、氧化锌粉末材料，研磨时间24小时，然后将浆料灌入三寸的多孔性模具中，经过干燥后脱膜形成三元氧化物混合的低密度胚体，然后经过1400‑1550℃的高温烧结，即能形成溅镀用高密度靶材胚体；成膜工艺：溅镀薄膜时采用三明治结构，首先在玻璃或可挠性PET基板上先溅镀10‑75 nm的氧化锌铝镓薄膜，接着溅镀5‑15nm的银或银合金薄膜，最后在溅镀10‑75 nm的氧化锌铝镓薄膜，形成三明治结构的薄膜，使得薄膜在<150℃状态下溅镀成膜。