[发明专利]一种硅片切割工艺

摘要

本发明涉及一种硅片切割工艺，适用于太阳能光伏行业硅片单、多晶硅片切割工艺。本发明中硅片切割所使用主要辅材为砂浆，通过对废砂浆的回收，调整砂浆的配比，并在此基础上对切割工艺中的参数进行调整。本发明的优点在于：（1）将砂浆分离回收利用，生产过程中提高回收砂、回收液的使用比例，将废弃物品回收利用，既可减少环境污染，又可降低生产成本，从而推进光伏行业的前进，有效利用太阳能资源，减少非再生资源的使用量。（2）通过调整切割工艺，弥补回收砂、回收液切割能力的不足，保证切割硅片合格率在92%以上，达到降低生产成本的同时，也减少固体废弃物的排放。

主权项

一种硅片切割工艺，切割过程中的切割辅料为砂浆，砂浆由碳化硅和切割液组成，其特征在于：所述的砂浆是经回收利用的废砂浆，碳化硅：切割液按1:0.9~0.97重量比配制；其中切割液是由100%的回收液组成，碳化硅是由80%重量的回收砂和20%重量的新砂组成。