[发明专利]压力传感器设备及其组装方法

摘要

本申请公开了一种测量包括用于车辆流体在内的流体压力的压力传感器设备和组装测量流体压力的压力传感器的方法。压力传感器包括用于压力测量的MEMS模具。该MEMS模具附接在玻璃底座元件上。该底座元件经由能够附接在流体容纳腔压力端口的安装框架来机械保持在位。这里的技术提供了MEMS模具与压力传感器的坚固连接，同时从MEMS模具解除热膨胀应力。采用该解除技术，压力测量可靠性和精度都得以改善。由于从MEMS模具解除热膨胀应力，选择传感器密封材料主要考虑自身的鲁棒化学特性，而不是结构特征。这项技术还提供了精确，持久耐用并且成本效率高的压力传感器。

主权项

一种用于测量流体压力的压力传感器设备，所述压力传感器设备包括：安装框架，所述安装框架能够与流体容纳腔的压力端口附接，所述安装框架具有面向流体容纳腔的内侧，所述安装框架具有背离流体容纳腔的外侧，所述安装框架限定有从内侧延伸到外侧的开口；底座元件，所述底座元件定位在所述开口处并且与安装框架的内侧的一部分相接触，以便当压力施加在底座元件上时，安装框架防止底座元件完全穿过所述开口，所述压力源自所述内侧并且朝向所述外侧对底座元件施加，底座元件限定有延伸穿过底座元件的流体管道，底座元件定位成使得能够从安装框架的外侧接近流体管道以及底座元件的由流体管道穿出的表面区域；以及微机电系统(MEMS)模具，所述MEMS模具在底座元件的所述表面区域处附接到底座元件上，使得当流体管道内充满来自流体容纳腔的流体时，流体压靠MEMS模具。